1、这次加的真空泵油的牌号和原先的不一样。不同的真空泵油牌号，由于不同牌号油内的饱和蒸汽压不一样，所以其的结果是不一样的。解决之道：根据产品的型号规格更换正确的新真空泵油。
2、另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情况，就是真空泵油乳化变色，或者过脏。解决之道：放干净泵内的所有真空泵油，水环式真空泵，更换同类型的真空泵油，SKA水环真空泵，并解决被抽气体中水蒸气和杂质不进入泵内。
3、被抽气体的温度可能过高。解决之道：降低被抽气体的温度，或可以加一个相应的换热器。
4、泵内的油路不通或者不畅，泵腔内没有保持一定量的油量。解决之道：检查油路是否畅通，并加同类型的真空泵油。
5、配合的间隙改大。这是长期被抽气体内含有粉尘等，造成旋片和定子之间磨损后的间隙增大。解决之道：检查间隙是否过大，更换新的零部件。
由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，单级旋片式真空泵，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，无油真空泵，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%.
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